产品描述
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。
兴鲁空分凭借多年积累的各种气体提纯技术和工艺，先后设计制造了电子气体设备，包括超高纯电子氮气，高纯氦，高纯甲烷等系列设备。可根据用户使用的要求定制电子气体设备。
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